EUV光源，即13.

5纳米波长的极深紫外光，是实现“超精密电路雕刻”

的核心，直接决定了芯片的最小线宽、集成度与性能上限。

只需一次曝光，就能把掩膜版上的电路图，复制到晶圆表层。

而传统的DUV光刻机，需通过“多重曝光”

，才能形成芯片所需的精细线路。

具体来说，就是要对同一区域的光刻胶进行2到4次光刻与显影操作，最终效果才相当于EUV光刻机一次曝光所能达到的水平。

梁劲松从格罗方德、联华电子手里购买的NXT1950iDUV光刻机，虽然也能生产14纳米、乃至10纳米的芯片，但必须利用多重曝光工艺。

然而，多次曝光会导致光刻步骤增加，生产周期变长、良品率骤减、成本迅速上升，至少要高个30到50。

这也是为何阿斯麦只要不向华国的Fab工厂出售EUV光刻机，便能牢牢卡住整个半导体行业脖子的主要原因。

即便掌握了其他关键技术，也会因制造成本居高不下，从而失去商业价值与市场竞争力。

就拿同一款芯片产品来说，高通以20美币的价格出售仍有毛利可赚，但国内芯片制造商若同样以20美币的价格售卖，反而要亏损三成。

面对这样的成本与盈利差距，采购方自然不愿买单。

陈延森提出的磁约束放电激发方式，则放弃了激光轰击液态金属锡、激发极深紫外光的方案，转而采用在强磁场约束下，通过高功率脉冲放电，在金属锡靶表面产生稳定、高亮度等离子体的技术路径。

优点显而易见，固态靶材加高压放电，机械结构更简单，稳定性更高。

这是一项差异化极大的技术，可以绕过大量现有的LPP专利壁垒墙。

“辛苦了，继续在磁约束放电激发技术的基础上，深耕延伸专利，以防欧美的半导体公司使用微创新的手段，反过来限制我们。”

陈延森在听完林南的汇报后，当即叮嘱道。

高通为什么栽了？

还不是他在射频、通信解码等技术上，设置了全新的专利壁垒，把高通的出口给堵住了。

要不然，保罗·雅各布能心甘情愿地与天工科技签订专利交叉授权协议？

想都别想！

自己走过的路，当然要堵死！

他可不想有朝一日，突然冒出来一家公司，起诉星源科技侵权。

“好的老板，我知道构建专利生态壁垒的重要性。”

林南立即应道。

他是沪城光学精密机械研究所的高级工程师，在行业内小有名气。

之前，星源科技和华科协会下属光电所联手推进攻关计划时，胡锐晖就向陈延森推荐了林南。

陈延森要钱给钱，要器材给器材，完全是一副财大气粗的样子。

林南在研究所蹉跎了十几年，眼看民营公司的研究员都拿到了诺贝尔化学奖，他哪里还坐得住？

在收到陈延森的邀请后，二话不说，就加入了星源科技的光学研究实验室，与光电所的院士们并肩作战，试图另辟蹊径，寻找一种可商用的EUV光源激发方式。

起初毫无进展，直到陈延森指了一条天马行空的路线。

用“电磁场”

代替“激光”

作为激发和约束等离子体的手段，在放电区域周围设置一组超导磁体线圈，产生一个特殊的磁镜场构型。

先用脉冲电流激发等离子体，再用多层反射镜来收集13.

5纳米的波长，最后聚焦和输出。

林南原本不以为然，但在研究一段时间后，他发现老板的方案并非是空想，而是具备极强的可实现性。

事实证明，这条路是对的！

“行，先这样。”

陈延森极为平淡地挂了电话。

在他看来，光刻技术是个无比庞大的环节，除去光源部分，物镜系统、双工作台、光刻胶等模块也是重中之重。

搞定EUV光源的激发方式，不过是千里之行，才走一步而已。

另一边。

林南暗自咋舌，表情有些失控，他其实很想再打回去告诉老板：“凭借这项技术，明年拿个国家最高科学技术奖，也不是没有可能啊！”

可他转念一想，深蓝科技还有三个诺贝尔化学奖的获得者，老板的反应平淡也很正常。

由于‘磁约束放电等离子体光源’是星源科技和华科协会的共同研究成果，消息在国内的科学界飞速传开。

胡锐晖在得知后，猛地站起身，根本不敢相信。

“这才四个月不到，就特么有成果了？

开什么玩笑？”

胡锐晖在办公室里走来走去，竟破天荒地爆了粗口。

同一时间，哈工大光学实验室和龙州光机所也收到了消息。

第一反应，假的！

可他们在反复验证后，又不得不相信，星源科技和燕京光电所，还真把EUV光源技术给搞了出来。

并且，还成功绕过了阿斯麦、卡尔蔡司、山星、湾积电和Cymer构筑的专利防御墙。

两个小时后，李青松接到胡锐晖的电话。

“先封锁消息，让安国协会的工作人员立刻赶到沪城，所有参与了研发过程的人员，一律签署保密条例。”

李青松在明白这项技术的重要性后，脸色瞬间变得凝重起来，冲着一旁的秘书吩咐道。

他在星源科技身上，看到了国产光刻机崛起的希望！

“好的，李先生。”

秘书不敢耽搁，抓起电话就开始联系安国协会，将需要签署保密条例的人员名单、对接流程一一梳理清楚。

李青松则站在办公室的玻璃窗前，望着燕京灰蒙蒙的天空，不由地陷入了沉思。

星源科技在EUV光源领域的技术突破，像一道惊雷，劈开了自研光刻机路上的迷雾，可随之而来的，还有无数即将袭来的暗流。

一旦消息泄露，阿斯麦、卡尔蔡司那些国际巨头绝不会坐视不理，要么通过专利诉讼拖延进度，要么联合供应链施压，甚至可能动用盘外力量干预。

毕竟，半导体行业从来都不只是单纯的技术竞争，背后牵扯着太多的利益博弈。

星源科技的发展让人出乎意料！

与此同时。

沪城星源科技的光学研究实验室里，林南正带领团队进行第三次稳定性测试。

屏幕上跳动的数据流显示，13.

5纳米波长的极深紫外光输出强度稳定在92以上，能量转换效率为7.

1，远超阿斯麦所掌握的LPP光源。

这个数据，已经达到了商用标准！

但接下来，还有很多巨大的挑战和不确定性。

比如，脉冲放电和等离子体本身会产生巨大热量，旋转靶和液膜都需要极强的冷却能力，目前的热管理技术就不匹配。

开辟一条新路，虽然可以独享，但配套设备和技术都得自己慢慢摸索。

道阻且长！

傍晚时分，陈延森在下班后，并没有回三角洲别墅区，而是赶到机场，乘坐湾流550飞往庐州。

明天下午两点，天工科技将在庐州会议中心召开新品发布会，正式把天工B100和天工C100推向市场。

他自然不能缺席。

半个小时后，飞机降落在庐州新桥机场。

接着换乘一辆迈巴赫，朝着包河区的一间别墅驶去。

又过了三十分钟，老黄才把车子缓缓停下。

只见一栋三层高的别墅矗立在眼前，占地面积200多平方米，地下一层，地上三层，建筑面积超过了800平方米。

自带200多平方米的花园，与虚城的别墅有所不同，这间房子除了观景水池外，还有一个露台泳池。

两年前买的，陈总一次都没住过。

“老黄，明天下午一点来接我。”

陈延森下了车，随口说了一句。

“好的老板。”