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第一百四十六章:晶圆厂和光刻机厂建立(2/2)

新开挖的晶圆厂地基在雨水持续浸泡下,边坡土质软化,接连发生了好几次小范围的塌方,浑浊的黄泥水不断倒灌进基坑里,抽水泵几乎二十四小时不停歇地嘶吼着。

七十五岁的张振华老先生,换上了高帮雨靴,身披一件明显大了一号的明黄色雨衣,几乎日夜都钉在工地上。

雨水顺着雨帽的缝隙流进他的脖颈,他也顾不上擦,他的嗓子因为持续在暴雨和机械的轰鸣中指挥,早已沙哑不堪。

“这里!

再打一排木桩!

沙袋!

沙袋填实了!”

他挥舞着手臂,雨水模糊了他的眼镜,他干脆把眼镜摘下来攥在手里,凭经验指挥着。

那是个尤其凶险的深夜。

雨势再次加大,基坑边缘又出现一处滑塌的迹象,张老打着手电,深一脚浅一脚地凑近查看,脚下全是烂泥。

突然,他踩到一处虚软的泥地,身体瞬间失去平衡,整个人朝着塌陷边缘滑去!

跟在他身后的年轻助手魂都快吓飞了,猛地一个前扑,死死拽住了张老雨衣的胳膊部位,自己大半身子也陷在了泥里,旁边几个工人反应过来,七手八脚地把两人拖了回来。

张老瘫坐在泥水里,大口喘着气,雨水冲刷着他苍白的脸。

助手惊魂未定,带着哭腔:“张老!

您可不能有事啊!”

张老缓过劲,拍了拍助手满是泥浆的胳膊,第一句话却是:“……我没事,快,去看刚才塌的那块,下面的防水布破了没有!”

临时搭建的板房在暴雨中哗哗作响,里面却灯火通明。

那台价值千万的离子注入机终于运到了,但开箱检测时,李爱娟教授和学生们的脸色就沉了下来??

运输途中的颠簸导致内部几个精密传感器的参数发生了漂移。

“必须马上校准,否则后续所有调试都是白费功夫。”

李教授的语气不容置疑。

关键传感器位于机器顶部的狭窄空间,距离地面两米多高。

学生们架好梯子,争着要上,却被她拦住了。

“你们手生,我来,你们给我递工具,读数据。”

68岁的她,动作却异常利索,爬上平台,几乎将半个身子探进了机器内部,借助放大镜和微型工具,小心翼翼地调整着那些比头发丝还细的部件。

这一干,就是三十六个小时。

学生们分成两班倒,实在撑不住了就在旁边的行军床上眯一会儿,但李教授始终守在控制台前,盯着屏幕上细微的数据变化,不时发出调整指令。

她手边是一个巨大的保温杯,里面是浓得发黑的咖啡,期间她只短暂地去了一次洗手间,吃了几口学生送来的盒饭,然后又立刻回到岗位上。

直到第二天傍晚,机器终于发出一声平稳的低鸣,所有参数指示灯恢复了稳定的绿色,她在学生的搀扶下从梯子上下来,脚步有些虚浮,却长舒了一口气:“好了,下一个。”

无尘车间是光刻机的核心区域,对恒温恒湿的要求近乎苛刻,但偏偏屋漏偏逢连夜雨,厂区的中央空调系统因为暴雨影响,调试进度滞后了。

赵东升工程师坐在轮椅上,眉头紧锁。

他看着温度计上轻微但足以毁掉精密光学元件的波动,果断下达命令:“不能等!

立刻搭建临时保温棚!

就用加厚防静电PVC布,把光刻机工作区整个罩起来!”
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