“常院士，这是……？”

栾文杰环顾四周，有些不解。

相比旁边关乎国家半导体命脉的光刻机测试，这里的设备显得过于“普通”

了。

“一项纯光学的……原理性验证实验。”

常浩南言简意赅，目光落在栗亚波身上，“我们准备了快半年，最近才真正具备了测试条件。”

“纯光学？

验证什么？”

栾文杰心中的疑惑更甚。

“很快您就知道了。”

常浩南依旧卖了个关子，示意栾文杰耐心观看，目光也投向了栗亚波的操作。

只见栗亚波最后确认了一下所有光学元件的共轴性，然后极其小心地将一块巴掌大小、表面布满极其细微黑白条纹的金属板插入一个特制的靶标架中，并微调了一下位置和角度。

接着走到控制电脑前，手指在键盘上快速敲击了几下。

嗡…… 一声轻微的启动声，位于平台一端的光源被点亮。

霎时，一束鲜艳夺目的红色激光束激射而出，经过扩束准直后变成一道直径大约几个毫米的平行红光，射入中间黑色的遮光罩内。

而当光线从另一端射出时，已经略带上了一丝难以察觉的模糊感。

最终，这束光线投射在数米开外的精密成像屏上，形成一个边界柔和的光斑。

“红光？”

栾文杰有些惊愕地低呼出声，“还是可见光？”

在他的认知里，要突破极限，理应使用波长更短的紫外光甚至极紫外光才对。

常浩南似乎早料到他有此一问，平静地解释道： “我们要测试的，是一个理论上‘不可能’被传统透镜实现的结果……如果使用波长太短的光，那么……对测试系统本身的精度和噪声要求会很高，甚至大概率无法测出有效结果。”

他这边话音刚落，一直紧盯电脑屏幕的栗亚波已经抬起头： “找到了。”

从他的脸上看不出太多情绪，但声音有些发颤： “成像清晰！

我找到靶标的成像结果了！”

“快！”

常浩南立刻上前几步，接替栗亚波坐到了显示器前面。

栾文杰也按捺不住好奇，迅速凑到旁边。

屏幕上显示的并非什么复杂的电路，而是一系列明暗相间、等宽等距的竖条纹图案。

条纹边缘锐利，对比度极高。

他快速搜索了一下脑海中的知识，并没有想起来符合当前场景的答案。

但看着面前师生二人的这副架势，已经能冥冥中感觉到，眼前这东西恐怕不太寻常。

好在，常浩南并没有让对方的疑惑持续太久。

“这是分辨率测试靶标的一部分。”

他指着屏幕上的竖条纹解释道，“根据光学成像的瑞利判据，使用波长λ=632.

8nm的可见红光时，一个传统透镜的理论分辨率极限δ大约是0.

61λ/ NA……换算到我们这个系统里，大概是在316nm左右。”

他指着屏幕上最清晰的那组条纹旁边标注的一组编号： “您看这里，第10组第5元素，它对应的线对宽度是308nm……也就是说，对于一块正常意义上的透镜而言，在632.

8nm波长下，不应该看清楚靶标上第10组第5元素以下的图案。”

常浩南说到这里，刻意停顿了一下： “但是……”

他没有继续说下去，而是移动鼠标，在屏幕上快速搜索着。

很快，光标停留在屏幕靠左侧的一个区域。

那里清晰地呈现出一个由三条竖直亮线组成的图案，亮线之间是等宽的黑线。

这个图案在屏幕上的标注正是“Group 10， Element 5”

！

“嗯？”

栾文杰失声惊呼，身体不由自主地前倾，几乎要贴到屏幕上。

瑞利判据是物理学基础，他刚才已经听明白了这个测试的意思。

308nm，已经超过，至少是贴近了632.

8nm波长所对应的分辨率极限 然而，眼前的三条亮线是如此清晰锐利，边缘平滑，没有一丝一毫的模糊或弥散感。

根本不像是在逼近理论极限，反而像是在分辨一个远大于极限的物体！

常浩南脸上依旧保持着那种掌控一切的平静，没有立刻解答栾文杰的震惊。

他只是再次移动鼠标控制着屏幕上的成像区域向下移动。

画面切换，来到了标注为“Group 10， Element 6”

的区域。

这里的线条图案更加细密。

然而，图形中的三条亮线依旧清晰可辨。

其锐利程度与9-5相比，几乎没有肉眼可见的衰减！

“10组6元素，对应分辨率274nm！”

旁边的栗亚波适时报出数据。

栾文杰的双眼已经瞪得溜圆，彻底被眼前的景象所震撼。

274nm！

刚才的结果或许还能用误差解释。

但这此，已经明确无误地突破了632.

8nm红光下理论衍射极限。

这完全颠覆了光学常识！

常浩南依旧沉默着，手指稳健地操控鼠标。

屏幕上的画面继续向下移动： Group 11， Element 1 (对应分辨率约244nm)–清晰！

Group 11， Element 2 (约218nm)–清晰！

Group 11， Element 3 (约194nm)–清晰！

…… 栾文杰的心跳随着每一次画面切换而加速，呼吸也变得急促起来。

每一次清晰成像的出现，都在无情地冲击和粉碎着百年光学理论的基石！

画面再次切换： Group 11， Element 4–三条亮线依然顽强地保持着可分辨的状态。

虽然对比度相比前面几组有所下降，亮线似乎也略微变细，但它们依旧清晰地并列着，中间的黑缝明确存在！

这已经将衍射极限甩开了相当一段距离！

栾文杰感觉自己的情绪似乎被调动了起来，他死死盯着屏幕拳头不自觉地握紧。

常浩南再次点击。

画面切换到了 Group 11， Element 5。

这一次，屏幕上的景象终于发生了变化。

那三条本应清晰独立的亮线，此刻却如同被水浸润的墨迹，边缘模糊，相互粘连、融合在一起，形成了一片边界不清的、亮度略高的弥散光斑，再也无法分辨出任何独立的线条结构！

“看不清了！”

几乎是同一时间栾文杰和栗亚波两人异口同声地喊了出来！

脱口而出之后，前者才意识到自己好像有点失态。

但好在这里也没外人，所以他很快又重新盯上了眼前的屏幕。

“这个图案是11组5元素（Group 11， Element 5）！”

他准确地喊出了刚刚变得模糊的那个靶标元素的编号，声音因为激动而有些变调。

常浩南点点头，目光锁定在屏幕上最后那个清晰的图案上：“没错，所以最后一个能清晰分辨的，就是11组4元素。”

他随即转向栗亚波，“亚波，靶板说明书。”

栗亚波立即把说明手册翻开，铺在键盘前面。